Aurora Serial Ⅰ
Aurora Serial ⅠALD系统是高产量ALD的代表，通过独家专利的特殊进气设计满足高产量、高质量的双重标准，整体模块化设计也简化了维护形式，缩短了维护时间，让客户拥有更有效的生产时间。
此款系统是采用手动装载Wafer形式，为此我们设计了快速装载工具，大大节省了装载时间，此外，充分考虑了各种尺寸和类型Wafer载具的便捷更换，在人机交互方面，我们提供了简洁、友好，易于操作的软件系统，这也使得此系统能让操作者快速熟悉和掌握。
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产品特点 — 衬底规格：210*4“，30*12” — 工艺温度：20-450℃ — 典型生长材料：Al2O3
— 前驱体：TMAl — 气路漏率：≤ 1.0*10-9 mbar*l/s
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